展示ゾーン:潜入!世界一ファクトリー

いたるところで活躍するキカイのモトをつくります

クリーントラック(半導体製造装置)

東京エレクトロン株式会社

精密制御で世界の半導体工場を
支える

スマートフォンなど電子機器の心臓部には、かならず「半導体」が使われています。
東京エレクトロンは、その半導体の製造装置メーカーとして、1980年代より自社生産・開発を進めてきました。世界シェア85%を占める主力製品の「クリーントラック」は、特殊感光材の塗布・現像を担う装置で、半導体をつくる主要工程で使用されます。
半導体の進化に終わりはありません。次世代への対応のために、現在も世界中の半導体研究機関と共同研究を進めています。


CLEAN TRACK

Tokyo Electron Ltd.

The high precision control provided by “CLEAN TRACK” helps support the global semiconductor industry.